松下晶圓定位傳感器樣本，FX-301

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3英寸以上的半導體晶圓(注2) 

可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3) 

檢測角度 12.5±5°(注4) 

晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5) 

適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下 

消耗電流 65mA以下 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關選擇

<NPN輸出>裝備(自動復位) 

耐振動 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時 

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 

投光元件 LED(調制式) 

工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起) 

穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈) 

定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式 

NPN開路集電極晶體管?較大流入電流：100mA 

外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時)

0.4V以下(流入電流為16mA時)

PNP輸出>

PNP開路集電極晶體管

較大源電流：100mA

外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時)

材質  外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯 

電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm 

反應時間 500μs以下 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃ 

使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH 

使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下 

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間 

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 

松下晶圓定位傳感器樣本，FX-301