YS松下晶圓定位傳感器,日本Panasonic定位傳感器電子樣本
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重量 本體重量:約75g
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應
實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和。
基于2段受光元件的位置檢測
利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節。
可從四個方向引出電纜
以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員,危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
使用環境溫度 0?+55℃(注意不可結露)、存儲時:?10?+70℃
使用環境濕度 35?85%RH、存儲時: 35?85%RH
使用環境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(調制式)
材質 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長300mm
電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
內置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質量約為75g的小巧、輕盈型。
靈敏度設定 背面教導:按本體靈敏度設定按鈕運行
檢測靈敏度切換:本體開關2bit、4級或外部輸入的2級選擇式
能 保護構造 IP20(IEC)
YS松下晶圓定位傳感器,日本Panasonic定位傳感器電子樣本
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