進(jìn)口日本SUNX晶圓定位傳感器,DP5-C-P
種類(lèi) | LED式反射型 | |
型號(hào) | M-DW1 | |
中心測(cè)量距離 | 45mm | |
檢測(cè)物體 | 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) | |
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 | 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3) | |
檢測(cè)角度 | 12.5±5°(注4) | |
晶圓間距 | 間距3mm以上時(shí),可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5) | |
適用晶圓盒 | SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開(kāi)放式晶圓盒 | |
電源電壓 | 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下 | |
消耗電流 | 65mA以下 | |
輸出 | NPN輸出/PNP輸出 可由切換開(kāi)關(guān)選擇 | |
輸出動(dòng)作 | 可用切換開(kāi)關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON | |
短路保護(hù) | 裝備(自動(dòng)復(fù)位) | |
反應(yīng)時(shí)間 | 500μs以下 | |
工作狀態(tài)指示燈 | 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起) | |
穩(wěn)定指示燈 | 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈) | |
定時(shí)器功能 | 裝備約2ms固定斷開(kāi)延遲定時(shí)器 有效/無(wú)效切換式 | |
投光停止輸入 | 信號(hào)條件 | |
靈敏度切換輸入 | 信號(hào)條件 | |
靈敏度設(shè)定 | 背面教導(dǎo):按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行 | |
環(huán) | 保護(hù)構(gòu)造 | IP20(IEC) |
0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí):?10?+70℃ | ||
35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí): 35?85%RH | ||
使用環(huán)境照明度 | 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下 | |
耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 | |
耐振動(dòng) | 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí) | |
耐沖擊 | 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 | |
投光元件 | LED(調(diào)制式) | |
材質(zhì) | 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯 | |
電纜 | 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長(zhǎng)300mm | |
電纜延長(zhǎng) | 0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m | |
重量 | 本體重量:約75g |
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