接觸液體部分材質主體/底盤:PEEK。
膜片:可選擇EPDM,FKM,Kalrez?。
動作壽命1000萬次以上(本公司實驗條件下的值)。
發塵、禁油、無金屬。
使用流體:空氣、水、脫離子水(純水)、稀釋液、洗凈液。
分離構造符合SEMI規格采用方便作業的鍛造主體。
使用壓力:1×10-6Pa(abs)
泄漏量:內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
有2種接頭和內螺紋可選。消耗功率:多削減25%。
質量:多減小18% 0.5kg→0.41kg。
壽命1000萬次。采用PTFE密封。帶指示器(可選項)。氣控型。
控制機床冷卻液(切削液)的大流量型閥。
功耗:0.35W(DC24V)。
隔離密封墊將使用流體區域與電磁驅動部隔離。
符合G螺紋(ISO1179-1)標準。
氣控型、外部先導電磁型。
用于控制機床中的冷卻液(切削液)。
高使用壓力:0.5MPa、1MPa。
氣控型、外部先導電磁型。
用于控制機床中的冷卻液(切削液)。
高使用壓力:0.5MPa、1MPa。
氣控型、外部先導電磁型。
用于輸送溶劑等液體的柔軟且耐磨性好的管子。
層構造 外層:特殊尼龍樹脂、內層:特殊氟樹脂。
內表面平滑性 相當于Ra0.02μm。簡單配管。
閥部采用聚氨酯彈性體閥座。
高壓環境下的耐久性提高。
壽命:1000萬次。
聚氨酯彈性座閥,高壓環境下的耐久性提高。
導向(滑動)部適用NSF-H1標準的潤滑脂。
采用金屬密封型溢流閥,耐久性提高。
滑動部采用特殊氟樹脂密封材質。
防止響應性穩定化,不易受壓力影響。
采用2層結構,減少了堵塞。
消音效果:35dB(A)。
用于控制氣動系統或氣液回路。
可正、逆流的平衡式閥座型。
氣控型、外部先導電磁型。
用于控制各種流體。
選擇不同的主體材質與密封材質,可對應空氣、水、油、工藝氣體、真空等多種流體。
有氣控型、外部先導電磁型。
用于水蒸氣的控制。防止液體積留。
不需要調節流量。用于洗凈及潔凈室組裝。
全部產品均經過了氦氣泄漏檢測。
高使用壓力:0.5MPa、1MPa、1.6MPa。
壽命500萬次以上(在本公司的實驗條件下)。
符合CE標準。
021-39526589
網址:czhfh.cn
地 址:上海市嘉定區嘉涌路99弄
6號樓713室