松下顏色傳感器主要技術(shù)，GX-5SU

采用聲波，透明薄膜、透明瓶等透明體也能檢測。

厚度16mm的薄型、緊湊機身。狹小空間也可輕松安裝。

只需變更控制輸入線的連接，即可輕松進行吸音時ON/隔音時ON的動作切換。

因為音波是將空氣作為媒介進行傳送的，存在局部性溫差，

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和。

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。

因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

安裝傳感器時，請使晶圓端面與傳感器檢測面之間的距離為45mm，

并且可12.5°傾斜檢測晶圓。安裝時，使用M4(長度：16mm)螺絲，

緊固扭矩控制在1.2N?m以下。并且，晶圓的位置偏差(突出或凹陷等)會導致檢測距離變

化，但是如果誤差在5mm范圍內(nèi)，也可實現(xiàn)穩(wěn)定檢測。

晶圓的中心軸與傳感器軸在一直線上(0°)將無法檢測。

在空氣對流較為的場所（門和空調(diào)的附近等）

下會發(fā)生檢測不穩(wěn)定的情況，所以請避開這類場所進行使用。

附近有金屬碰撞等外界干擾音的情況下，會發(fā)生誤操作的可能性所以請引起注意。

原則上請使用 大靈敏度。但是由于受到周圍物體的影響，

在 大靈敏度下發(fā)生不良的話（周圍物體反射等），請進行調(diào)整。

檢測軸側(cè)面物體的影響靠近檢測軸處有墻面和振動板時，通過反射會產(chǎn)生動作不穩(wěn)定的情況。

發(fā)生下圖的情況下，受到背景物體等的影響，會發(fā)生動作不穩(wěn)定的情況。

將檢測物遠離接收器，如下圖所示請以檢測物體表面為準做角度傾斜調(diào)整。

鄰接2臺以上傳感器的情況下，由于相互干擾，通常會發(fā)生聲音進入狀態(tài)的情況。

小檢測物體寬度在靜止狀態(tài)下是20×20mm。

移動物體與移動速度及傳感器応答時間有關(guān)系，那些關(guān)聯(lián)通過以下方式體現(xiàn)。

小檢測物體寬度(m)物體的流程速度(m/s)

傳感器的應(yīng)答時間＝0.005(s)靜止狀態(tài)下的小檢測物體寬度＝0.02(m)

請避開接通電源時的過度狀態(tài)（50ms）進行使用。

發(fā)送器，接收器元件注意不要直接接觸到水和灰塵。會對檢測性能產(chǎn)生影響。

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，危險。

M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

檢測帶定位邊晶圓時，傳感器的安裝必須確保可檢測定位邊以外的位置。

為了從不同的角度兩次檢測晶圓，請設(shè)定機械臂等的動作，對檢測信號的結(jié)果進行OR處理。

檢測8英寸以下的晶圓時，可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測。

對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。

將外部靈敏度切換輸入(紫)設(shè)為0～3V或9V～+V(26.4VMAX.)，

則外部靈敏度切換輸入ON；設(shè)為斷開或4～8V，則外部靈敏度切換輸入OFF。

通過外部靈敏度切換輸入切換靈敏度時，如下表所示設(shè)定靈敏度切換開關(guān)。

本產(chǎn)品為不易受背景影響的光學部件，但是在檢測小口徑晶圓等時可能會受背景的影響。

因此，在晶圓盒中無晶圓的狀態(tài)下檢測背景、穩(wěn)定指示燈(綠色)熄滅時，

需要設(shè)定靈敏度以避免背景的影響。但是，一旦設(shè)定靈敏度，靈敏度將會下降。

已設(shè)靈敏度將保存在EEPROM中，重新接通電源不必重新設(shè)定。

但是，EEPROM壽命有限，寫入次數(shù)為10萬次，請注意。

將外部投光停止輸入(粉紅色)設(shè)為0～3V或9V～＋V(26.4VMAX.)時投光停止。此時輸出為非入光狀態(tài)。

不同的傳感器輸出的檢測信號如下所示。輸出寬度大于晶圓厚度的寬幅信號。

檢測信號的寬度隨檢測端面的光反射率而變化。高反射率(拋光、鋁蒸鍍等)：檢測信號寬度大

晶圓厚度t＝0.6mm→檢測信號寬度 約1.5mm反射率(氮化膜、氧化膜處理等)：檢測信號寬度小

晶圓厚度t＝0.6mm→檢測信號寬度 約1.1mm檢測信號的寬度隨檢測距離和檢測角度而變化。

安裝傳感器時，必須將傳感器與晶圓保持相對傾斜。

請務(wù)必在切斷電源的狀態(tài)下進行配線作業(yè)。

配線錯誤會導致故障。請確認電源的波動，以免電源輸入過額定范圍。

使用市售的開關(guān)調(diào)節(jié)器時，請務(wù)必將電源的框架式接地(F.G.)端子接地。

在傳感器安裝部周圍使用作為干擾發(fā)生源的設(shè)備(開關(guān)調(diào)節(jié)器、

變頻馬達等)時，請務(wù)必將設(shè)備的框架式接地(F.G.)端子接地。

延長電纜時，可通過截面積為0.15mm2以上的電纜將全長延長至10m。不過，為避免噪音，請盡量縮短配線。

請避免與高壓線和動力線并行配線，或使用同一配線管，否則會因電磁感應(yīng)而導致誤動作。

直流電源請務(wù)必使用絕緣變壓器。使用自動變壓器(自耦變壓器)時，有時會損壞本體和電源。

使用電源發(fā)生電涌時，請將發(fā)生源與電涌吸收器連接，以吸收電涌。

使用時，請避開電源接通時的過渡狀態(tài)(0.5s)。

快速起動式、高頻點亮式熒光燈的光束會給檢測造成影響。

雖然因傳感器類型而有所差異，但還應(yīng)注意不要使光束直接投射到傳感器上。

請勿在蒸氣、灰塵等較多的場所使用。請勿使產(chǎn)品和稀釋劑等有機溶劑或水、

油以及油脂直接接觸。并且避免在上述環(huán)境中使用。

注意避免使傳感器的檢測面上沾染灰塵等。否則會導致誤動作。

如有灰塵，請用壓縮空氣吹掃或用軟布小心擦拭干凈。

松下顏色傳感器主要技術(shù)，GX-5SU