美國派克PARKER氣動隔膜閥應用參數 

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930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導體行業中成為的應用。

這些材料結合930系列嚴格的設計特點，給予了930系列產品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關，用以提供開-關位置指示。還有多種閥體構造可選，包括930Y系列(Y型閥）和SM930系列(面板安裝)。

930系列閥門上內部(閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以適應在苛刻的UHP應用中，保有其性能和穩定性。

派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整性，高循環使用壽命和顆粒發生，非常適用于UHP半導體應用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可大限度地減少顆粒產生和截留，減少半導體應用中必不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計，控制閥座和隔膜應力，以提供穩定和免維護的使用壽命

特點與YS:

·電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)·高循環使用壽命（包括耐腐蝕性服務)

·內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留·全壓力范圍使用:從真空到300 psig

·內部泄漏率: ≤1× 10-9 scc / sec He·外部泄漏率:≤2×10-10 scc / sec He·AOP驅動，額定壓力為75 psig

應用:

·腐蝕性氣體和特種氣體·半導體工具

·工具連接·燃氣柜

·閥組箱(VMB)

930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的VericleanTM 316L不銹鋼材質。

Vericlean”是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE)，聚配迷醚酮樹脂（PEEKR）和聚酰亞胺(Vespel@）材質的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。

市場:·半導體·分析實驗室·制藥

·生物制藥·航空航天·工業

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