THK交叉滾子軸承技術RE15025CS

將液晶基板與隔離片交互堆疊的裝置。在移載部使用

雙滑塊的GLM，在升降部使用KT。使用KT進行多點

定位后，可通過獨立的滑塊實現高節拍的移載運動。

使用（保存）溫度使用溫度0～+50℃　保存溫度–20～+85℃無凍結）

使用（保存）濕度90%RH以下（無結露）

耐振動/耐沖擊2 G（JIS C60068-2-6）/100 G（JIS C60068-2-27）

線路噪聲耐量1500 V　500 ns　共用模式、普通模式

電機吸引力 ：P=1232 [N]

LM滑塊滑動阻力 ：f＝3.7 [N]

LM滑塊數量 ：n=4（GLM20AP-S時）

通信功能RS-232C×1個端口：計算機軟件及數字操作面板連接、

狀態顯示（I/O）、參數設定、報警顯示、JOG動作

內為無磁極傳感器規格時的滑座質量。

※1 動作速度、加減速度等規格受負荷質量的限制。

較大可搬送質量為加速度約0.5G時可驅動的質量。

※2 設定可搬送質量為加速度約2G、到達較高速度1.0m/s時，

可在負載比50%下驅動一定行程的質量。

但根據動作條件的不同，受推力和速度特性的影響，

可動作質量可能會發生變化。

在激光移動部使用CSKR、GLM。通過使用無塵

系列的CSKR型和非接觸的極少發塵的GLM，可滿足無塵室的要求。

THK交叉滾子軸承技術RE15025CS