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概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1

概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1

  • 所屬分類:松下SUNX
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2016-07-07
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1

反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件,

通過反射光位置而非反射光量進行檢測。

因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側、左側、

下方四個方向引出電纜??筛鶕鞲衅鞯脑O置情況靈活調節。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,

質量約為75g的小巧、輕盈型。

保護構造 IP20(IEC) 

使用環境溫度 0?+55℃(注意不可結露)、存儲時:?10?+70℃ 

使用環境濕度 35?85%RH、存儲時: 35?85%RH 

耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 

以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 

耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時 

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 

投光元件 LED(調制式) 

材質  外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯 

電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長300mm 

電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m 

重量 本體重量:約75g 

概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1


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