技術資料：CKD小型過濾器，喜開理管線直裝過濾器

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CKD過濾器資料說明

小型 高響應。

在確認吸附電子部件中發(fā)揮威力。

應用硅微觀加工的白金傳感器觸頭

新方案的整流機構，實現(xiàn)了以前所沒有的小型·高速響應。適合確認電子部件的吸附，各種N2凈化氣體流量管理等熱式流量傳感器·快速流動

FSM系

流量傳感器的選定方法

使用流量傳感器進行吸附噴嘴的吸附、確認離脫、檢查泄漏等時，請作為選定流量范圍的大致標準。

根據(jù)噴嘴（氣孔）的有效截面積及噴嘴內外的壓力差，可計算流

?。?：流量 /min

P1：1次側壓力 MPa

P2：2次側壓力 MPa

S ：噴嘴（氣孔）的有效截面積 mm2

P2：真空

P1：大氣壓

下表表示噴嘴的直徑為φ0.1～2，P2可變時的流量計算值。

P1：加壓

P2：大氣壓

P1：大氣壓

注意）

　?配管等有泄漏時，實際流量比計算值大。選定流量時，請考慮配管的泄漏量。

　?配管途中，有比吸附噴嘴直徑細的部分時，流量被節(jié)流，流量比計算值。

　?有可能不能進行吸附確認。

　?有效截面積為大致標準。噴嘴細長時，有效截面積比比噴嘴的開口面積小。

　?應答速度由從流量傳感器到噴嘴（氣孔）的配管內容積決定。進行高速檢測時，將流量傳感器配置在吸附噴嘴附近等，

 盡量使配管的內容積縮小。

　?配管等有泄漏時，實際流量比計算值大。選定流量時，請考慮配管的泄漏量。

　?配管途中，有比吸附噴嘴直徑細的部分時，流量被節(jié)流，流量比計算值。

　?有可能不能進行吸附確認。

　?有效截面積為大致標準。噴嘴細長時，有效截面積比比噴嘴的開口面積小。

　?應答速度由從流量傳感器到噴嘴（氣孔）的配管內容積決定。進行高速檢測時，將流量傳感器配置在吸附噴嘴附近等，

 盡量使配管的內容積縮小。

流量計算值（ /min）

技術資料：CKD小型過濾器，喜開理管線直裝過濾器