松下晶圓定位傳感器技術參數，SUNX晶圓定位傳感器

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聯系人：楊艷鳳

上海市嘉定區江橋鎮嘉涌路99弄6號713室

型號 M-DW1

中心測量距離 45mm

檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)

可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

適用穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)

定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式

投光停止輸入 信號條件

?投光停止：斷開或4?8V

?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入 信號條件

?輸入OFF：斷開或4?8V

?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設定 背面教導：按本體靈敏度設定按鈕運行

檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4級或外部輸入的2級選擇式

環晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

輸出 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關選擇

<NPN輸出>

NPN開路集電極晶體管

?較大流入電流：100mA 

?外加境

性

能 保護構造 IP20(IEC)

使用環境溫度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃

使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH

使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐振動 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

投光元件電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時)

　　　　　　　 0.4V以下(流入電流為16mA時)

<PNP輸出>

PNP開路集電極晶體管

?較大源電流：100mA

?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時)

　　　　　　　 0.4V以下(源電流為16mA時)

　 輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON

短路保護 裝備(自動復位)

反應時間 500μs以下

工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)

松下晶圓定位傳感器技術參數，SUNX晶圓定位傳感器