介紹日本Panasonic晶圓定位傳感器，F(xiàn)C-SF4A-H20

    中心測量距離45mm

    短路保護裝備(自動復(fù)位)     投光：0 3V或9V +V(26.4V MAX.)

    0.4V以下(流入電流為16mA時)     剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時)

    材質(zhì)外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯

    投光停止輸入信號條件    NPN開路集電極晶體管

    外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

    檢測物體3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

    檢測角度12.5±5°(注4)

    工作狀態(tài)指示燈橙色LED(輸出ON時亮起)

    輸入OFF：斷開或4 8V    保護構(gòu)造IP20(IEC)    投光元件LED(調(diào)制式)

    剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時)

    型號M-DW1    消耗電流65mA以下反應(yīng)時間500μs以下

    靈敏度設(shè)定背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運行

    輸出NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇

    耐電壓AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

    絕緣電阻所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

    使用環(huán)境濕度35 85%RH、存儲時： 35 85%RH

    較大源電流：100mA　　　　　　　 0.4V以下(源電流為16mA時)

    輸出動作可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON

    使用環(huán)境溫度0 ＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲時： 10 ＋70℃

    外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

    靈敏度切換輸入信號條件    電纜0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm

    可對應(yīng)檢測面有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

    適用晶圓盒SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

    輸入ON ：0 3V或9V +V(26.4V MAX.)

    晶圓間距間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

    使用環(huán)境照明度白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

    穩(wěn)定指示燈綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)

    投光停止：斷開或4 8V    <NPN輸出>PNP開路集電極晶體管

    定時器功能裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式

    電源電壓12 24V DC±10%　脈動P-P10%以下

    耐沖擊耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

    種類LED式反射型     較大流入電流：100mA <PNP輸出>

    耐振動頻率10 500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時

    檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式

    電纜延長0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m

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