不需調整真空和正壓的切換時間(單信號控制)
則膜片B、C噴嘴擋板機構和常泄式排氣閥
溢流作用對壓力調節是很敏感的故能實現穩壓
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響應速度13msec(500mm時※)/18.5msec(1000mm時※)
從單元到工件的距離消除過吹現象平穩脫離
依靠壓力頂開一側的旋轉閥瓣
壓力失去后閥瓣依靠自重回位,反向的液體壓力封閉閥瓣。
同一集裝板上的V1容積不同的場合
請調整配管長、配管內徑,使之變為相同容積。
響應性可以確保配管變長的情形。
使用減壓閥微調和V1容積相符合的
P2破壞壓力。減壓閥TJ使用型IR系列。
不需要破壞真空的空氣節流回路
消除了由于破壞真空的空氣所造成的吹飛工件的現象
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6號樓713室